ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ГАЗОВЫЕ СЕНСОРЫ
Описание проекта: Сенсорные элементы формируются на подложке монокристаллического кремния и включают трафаретную встречно-штырьевую систему платиновых измерительных электродов, платиновый пленочный нагреватель, полученные магнетронным напылением, и чувствительный слой на основе индивидуальных оксидов или композитов (WO3, VO2, La1-xPbXMnO3), сформированный по керамической технологии.
Использование разработанных газовых сенсоров позволяет селективно детектировать присутствие в воздушной среде ряда активных газов при пониженной температуре рабочего слоя датчика. Используется для детектирования и количественного мониторинга присутствия активных донорно-акцепторных газов в воздушной и иной газовой среде.
Преимущества: Характеризуются повышенной селективностью в отношении отдельных газов в зависимости от химического состава чувствительного слоя, а также пониженными рабочими температурами, что позволяет уменьшить энергопотребление в режиме эксплуатации.